在之前的内容中，我们已对XPS数据处理及XPSpeak41软件的使用进行了初步讲解。本次将继续深入，结合上期得到的电子能谱图，重点介绍具体的峰拟合方法，帮助大家掌握如何对复杂谱图进行有效分峰，理解各组分峰的归属与拟合技巧，提升数据分析能力。
1、 在获得所示的分析结果后，接下来需进行分峰处理。图中共有两个峰，优先对后一个峰进行分解。具体操作（1）所示：首先为能谱添加背底线，进入工具栏点击background，弹出boundary设置窗口。其中，High BE与Low BE两项由软件根据能谱数据自动设定，通常建议保持默认值，不宜随意更改，以确保后续分析的准确性与可靠性。
2、 随后，基于上述操作结果，通常采用默认的Shirley背景类型，斜率参数暂不调整，待后续根据实际情况再作修改，确认无误后点击接受，得到（2）所示界面。接着进入峰拟合阶段，点击工具栏中的添加峰选项，系统将自动生成初步峰形，（3）所示。随后在峰类型中选择P型电子峰，并将位置参数调整至与图中实际峰位一致，（4）所示。通过点击固定按钮将该峰的位置锁定，确保后续分析过程中参数稳定，为下一步处理奠定基础。
3、 保持其他参数不变，点击确认即可获得（5）所示结果。接下来需对峰高和峰宽进行拟合，具体操作所示：调整半高宽（FWHM）及峰面积（area）等参数，参考图（6）所示过程。至此，分峰拟合基本完成。后续的数据处理方法将在XPS数据处理与XPSpeak41软件使用（3）中详细说明。
